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本产品专为高真空系统设计的高压电极引入组件，采用标准 CF100 法兰结构，密封可靠，适配高真空与超高真空环境。产品支持 20KV 高压绝缘，绝缘性能稳定、耐击穿，6 针 M3 螺纹电极布局规整，导电与安装适配性强。结构紧凑、安装简便，广泛用于真空镀膜、等离子设备、半导体装备等科研与工业真空系统，满足高压供电与真空隔离双重需求。
主要特点：
1. 标准 CF100 法兰，高真空密封稳定，无泄漏、洁净无污染；
2. 20KV 高压绝缘设计，绝缘强度高，运行安全可靠；
3. 6 针 - M3 电极结构，接线方便，适配多种设备电极引入；
4. 结构坚固耐用，适用于真空镀膜、等离子、半导体等真空设备。
| 型号 | 法兰 | F | C | L | A | L1 | L2 | 极干材料 | 电流(A) | 电压(kv) | N | 订货号 |
| 16-1 | CF16 | 34 | 1 | 80 | 55 | 4J29 | 1.5 | 2 | 2 | 140301n | ||
| 16-M2 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 5 | 5 | 2 | 140302n | ||
| 16-M3 | M3 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 10 | 5 | 1 | 140303n | ||
| 25-2 | CF25 | 54 | 2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 5 | 4 | 140304n | ||
| 25-M2 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 5 | 5 | 2 | 140305n | ||
| 25-M3 | M3 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 10 | 5 | 2 | 140306n | ||
| 25-M6 | M6 | 80 | 55 | 14 | 18 | TU1 | 40 | 2 | 1 | 140307n | ||
| 35-2 | CF35 | 70 | 2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 5 | 6 | 140308n | ||
| 35-M2 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 5 | 5 | 4 | 140309n | ||
| 35-M3 | M3 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 10 | 5 | 4 | 140310n | ||
| 35-M6 | M6 | 80 | 55 | 14 | 18 | TU1 | 40 | 2 | 1 | 140311n | ||
| 50-2 | CF50 | 86 | 2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 5 | 8 | 140312n | ||
| 50-M2 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 5 | 5 | 6 | 140313n | ||
| 50-M3 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 10 | 5 | 6 | 140314n | ||
| 50-M6 | M6 | 80 | 55 | 14 | 18 | TU1 | 40 | 2 | 2 | 140315n | ||
| 63-2 | CF63 | 114 | 2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 2 | 12 | 140316n | ||
| 63-M2 | M2 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 5 | 5 | 10 | 140317n | ||
| 63-M3 | M3 | 80 | 55 | 12 | 12 | 4J29 | 10 | 5 | 10 | 140318n | ||
| 63-M6 | M6 | 80 | 55 | 14 | 18 | TU1 | 40 | 2 | 4 | 140319n | ||
| 100-2 | CF100 | 152 | 2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 5 | 16 | 140320n | ||
| 100-M2 | M2 | 80 | 55 | 4J29 | 5 | 5 | 14 | 140321n | ||||
| 100-M3 | M2 | 80 | 55 | 4J29 | 10 | 5 | 14 | 140322n | ||||
| 100-M6 | M6 | 80 | 55 | 14 | 18 | TU1 | 40 | 2 | 6 | 140323n |
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关键词： CF100-6针-M3电极法兰(20KV高压型)
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