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本产品是一种超高真空小型多通接头,采用不锈钢薄壁拉伸工艺制成,六个接口均为 CF16 微型真空法兰,用于在小型真空系统中实现六路管路同时连接、分配气路或扩展接口,属于微型真空腔体元件。
主要特点:
1. 微型六通结构,集成度高
六路 CF16 标准接口,体积小巧,适合空间有限的微型真空系统,可同时连接规管、阀门、检漏口、取样口等多个组件。
2. 拉伸成型,内壁光滑流导好
采用不锈钢拉伸工艺,内部流道圆滑无死角,气体流导大、不易积尘,便于清洁和高真空除气。
3. CF 刀口金属密封,适用超高真空
接口为 CF 刀口法兰,配无氧铜垫圈实现金属硬密封,漏率极低,可用于 UHV 超高真空环境。
4. 全金属结构,可高温烘烤
无橡胶、无塑料,整体 304/316L 不锈钢,可高温烘烤除气,放气率低,适合高洁净真空系统。
5. 体积小、重量轻、刚性好
拉伸件壁厚均匀,结构稳定,不易变形,安装方便,适合紧凑型设备。
6. 标准接口通用性强
CF16 为国际通用微型真空法兰,可与各类 CF16 盲板、弯头、阀门、接头直接互换对接。
典型应用
1. 微型超高真空系统
小型科研真空腔、质谱仪接口、检漏装置、便携式真空设备。
2. 半导体精密设备
微型气路分配、传感器接口、真空检测点位扩展、晶圆检测设备。
3. 实验室精密仪器
小型镀膜设备、电子显微镜附件、离子源气路、物理实验微型真空回路。
4. 分析与检测仪器
气相 / 质谱接口、残留气体分析、真空校准装置、微型取样系统。
5. 科研与航天模拟装置
小型空间环境模拟舱、微重力实验真空组件、多路微型气路集成。
| 法兰尺寸(英制) | 对应国内常见规格参考 | 中心距 A(mm) |
| CF1.33" | CF35 | 38.1 |
| CF2.12" | CF50 | 52.07 |
| CF2.75" | CF63 | 62.48 |
| CF3.38" | CF80 | 81.79 |
| CF4.50" | CF100 | 85.85 |
| CF4.62" | CF114 | 92.2 |
| CF6.00" | CF150 | 134.9 |
| 型号 | A/mm | 材料 | 重量/Kg |
| CF16三通 | 38 | 304 | 0.23 |
| CF25三通 | 58 | 304 | 0.68 |
| CF35三通 | 63 | 304 | 0.9 |
| CF50三通 | 80 | 304 | 1.8 |
| CF63三通 | 105 | 304 | 3.63 |
| CF80三通 | 118 | 304 | 5.3 |
| CF100三通 | 135 | 304 | 6.8 |
| CF150三通 | 167 | 304 | 10.89 |
| CF200三通 | 203 | 304 | 11.79 |
| CF250三通 | 208 | 304 | 17.24 |
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关键词: CF16六通(拉伸)
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