CF63-CF35六通(拉伸)

所属分类: CF六通

本产品一种超高真空用多通道腔体连接件,采用不锈钢整体拉伸 / 精加工成型,一端为 CF63 主法兰,其余接口为 CF35 分支法兰,实现一路进、多路出的真空管路分配与扩展,用于搭建 UHV / HV 真空系统。

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       本产品是一种超高真空用多通道腔体连接件,采用不锈钢整体拉伸 / 精加工成型,一端为 CF63 主法兰,其余接口为 CF35 分支法兰,实现一路进、多路出的真空管路分配与扩展,用于搭建 UHV / HV 真空系统。
产品特点:
1. 多通道集成结构
六通构型,1 个 CF63 主接口 + 多个 CF35 分支接口,空间紧凑,可同时连接泵、阀门、规管、观察窗、样品腔等多路真空组件。
2. 拉伸成型 / 整体精加工
采用不锈钢拉伸或整体车铣加工,壁厚均匀、刚性好,内部流道顺滑,流导大,不易积尘、易清洁。
3. CF 刀口金属密封
标配 CF 刀口法兰,配无氧铜垫圈实现金属硬密封,漏率极低,可用于超高真空(UHV)环境。
4. 耐高温烘烤,无放气污染
全不锈钢结构,无橡胶、无塑料,可承受高温真空烘烤除气,适合对洁净度要求高的系统。
5. 标准接口通用性强
CF63 / CF35 均为国际通用真空法兰,可与各类 CF 阀门、盲板、接头、腔体直接互换对接。
6. 耐腐蚀、长寿命
常用 304 / 316L 不锈钢,耐酸碱、耐温、不易氧化,适合长期在真空或弱腐蚀环境使用。

典型应用
1. 超高真空科研设备
分子束外延(MBE)、真空镀膜机、扫描隧道显微镜(STM)、物理实验腔体扩展。
2. 半导体与薄膜装备
PVD / CVD / ALD 镀膜系统、离子刻蚀设备、真空管路分配、多测点监测接口。
3. 分析仪器与检测设备
质谱仪、电子显微镜、检漏仪、空间环境模拟舱的多路真空接口。
4. 高校与研究所真空平台
实验室真空系统搭建、多工位样品腔、气路分配、传感器集成。
5. 光学与激光真空系统
配合观察窗、激光入射口、光谱检测装置使用,实现多方位观测与接入。

法兰尺寸(英制) 对应国内常见规格参考 中心距 A(mm)
CF1.33" CF35 38.1
CF2.12" CF50 52.07
CF2.75" CF63 62.48
CF3.38" CF80 81.79
CF4.50" CF100 85.85
CF4.62" CF114 92.2
CF6.00" CF150 134.9

 

型号 A/mm 材料 重量/Kg
CF16三通 38 304 0.23
CF25三通 58 304 0.68
CF35三通 63 304 0.9
CF50三通 80 304 1.8
CF63三通 105 304 3.63
CF80三通 118 304 5.3
CF100三通 135 304 6.8
CF150三通 167 304 10.89
CF200三通 203 304 11.79
CF250三通 208 304 17.24

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关键词: CF63-CF35六通(拉伸)