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本产品是一种超高真空用多通道腔体连接件,采用不锈钢整体拉伸 / 精加工成型,一端为 CF63 主法兰,其余接口为 CF35 分支法兰,实现一路进、多路出的真空管路分配与扩展,用于搭建 UHV / HV 真空系统。
产品特点:
1. 多通道集成结构
六通构型,1 个 CF63 主接口 + 多个 CF35 分支接口,空间紧凑,可同时连接泵、阀门、规管、观察窗、样品腔等多路真空组件。
2. 拉伸成型 / 整体精加工
采用不锈钢拉伸或整体车铣加工,壁厚均匀、刚性好,内部流道顺滑,流导大,不易积尘、易清洁。
3. CF 刀口金属密封
标配 CF 刀口法兰,配无氧铜垫圈实现金属硬密封,漏率极低,可用于超高真空(UHV)环境。
4. 耐高温烘烤,无放气污染
全不锈钢结构,无橡胶、无塑料,可承受高温真空烘烤除气,适合对洁净度要求高的系统。
5. 标准接口通用性强
CF63 / CF35 均为国际通用真空法兰,可与各类 CF 阀门、盲板、接头、腔体直接互换对接。
6. 耐腐蚀、长寿命
常用 304 / 316L 不锈钢,耐酸碱、耐温、不易氧化,适合长期在真空或弱腐蚀环境使用。
典型应用
1. 超高真空科研设备
分子束外延(MBE)、真空镀膜机、扫描隧道显微镜(STM)、物理实验腔体扩展。
2. 半导体与薄膜装备
PVD / CVD / ALD 镀膜系统、离子刻蚀设备、真空管路分配、多测点监测接口。
3. 分析仪器与检测设备
质谱仪、电子显微镜、检漏仪、空间环境模拟舱的多路真空接口。
4. 高校与研究所真空平台
实验室真空系统搭建、多工位样品腔、气路分配、传感器集成。
5. 光学与激光真空系统
配合观察窗、激光入射口、光谱检测装置使用,实现多方位观测与接入。
| 法兰尺寸(英制) | 对应国内常见规格参考 | 中心距 A(mm) |
| CF1.33" | CF35 | 38.1 |
| CF2.12" | CF50 | 52.07 |
| CF2.75" | CF63 | 62.48 |
| CF3.38" | CF80 | 81.79 |
| CF4.50" | CF100 | 85.85 |
| CF4.62" | CF114 | 92.2 |
| CF6.00" | CF150 | 134.9 |
| 型号 | A/mm | 材料 | 重量/Kg |
| CF16三通 | 38 | 304 | 0.23 |
| CF25三通 | 58 | 304 | 0.68 |
| CF35三通 | 63 | 304 | 0.9 |
| CF50三通 | 80 | 304 | 1.8 |
| CF63三通 | 105 | 304 | 3.63 |
| CF80三通 | 118 | 304 | 5.3 |
| CF100三通 | 135 | 304 | 6.8 |
| CF150三通 | 167 | 304 | 10.89 |
| CF200三通 | 203 | 304 | 11.79 |
| CF250三通 | 208 | 304 | 17.24 |
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关键词: CF63-CF35六通(拉伸)
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