CF63-4xCF35变径六通

       本产品采用 CF 标准刀口密封结构，实现主接口 CF63 与四路 CF35 的变径转接，以高真空密封性、结构强度高、流导通畅、多端口扩展为核心优势，适配各类真空系统集成、多路管路对接、腔体扩展与多工位观测需求，为半导体、镀膜、科研真空设备提供稳定可靠的真空管路连接解决方案。
主要特点：
1. 多路变径集成结构
采用1 个 CF63 主接口 + 4 个 CF35 分支接口的六通构型，变径过渡流畅，流导损失小，可同时实现多路真空管路、观察窗、传感器、阀门等组件的集中接入，集成度高，节省腔体空间。
2. 超高真空密封性能
采用 CF 刀口金属密封结构，配合无氧铜垫圈实现硬密封，漏率低、无挥发、无渗透，可满足 UHV 超高真空系统使用要求，密封稳定可靠。
3. 标准 CF 接口通用互换
主副接口均为标准 CF 法兰，尺寸规范、定位精准，可直接与 CF63、CF35 系列真空腔体、阀门、观察窗、泵体等配件对接，安装便捷、通用性强、互换性好。
4. 材质洁净强度优异
选用 304/316L 不锈钢精加工而成，表面光洁、耐腐蚀、耐高温烘烤，无磁无污染，适合高洁净真空环境，不易变形、结构刚性强。
5. 可烘烤、适配高 / 低温工况
整体金属结构无塑胶、无有机材料，支持真空系统高温烘烤除气，耐温范围宽，抗热震，适配各类科研与工业真空工况。

典型应用
1. 超高真空科研设备：分子束外延（MBE）、STM/AFM 扫描探针显微镜、真空物理实验平台、多工位真空分析系统。
2. 半导体与薄膜装备：PVD/CVD/ALD 真空镀膜设备、离子刻蚀、真空腔体扩展、多通道气路 / 检测接口。
3. 真空系统集成：真空炉、空间模拟舱、检漏设备、真空管路分配、多支路真空系统搭建。
4. 光学与检测真空组件：配合观察窗、激光入射、光谱检测、成像监测等多接口集成使用。
5. 实验室真空装置：高校 / 研究所真空实验平台、多工位样品腔、真空互联系统、多路传感器接入。