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本产品铝合金阳极氧化腔体匀胶机，是以阳极氧化铝合金为腔体的旋涂设备，用于光刻胶、高分子材料等常规试剂的匀胶成膜。仪器采先进的精密电机，有效转速能达到8000转/秒，控制依靠按键和高亮液晶屏，除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本款匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。
主要特点：
1. 表面硬度高、耐磨抗刮，运行中不易划伤、不易变形，长期使用腔体依旧平整。
2. 耐化学性与耐腐蚀性良好，氧化膜隔绝基材与胶液、溶剂直接接触，不易锈蚀、不易被侵蚀。
3. 导热均匀、控温更稳定，铝合金本身导热快，配合致密氧化层，热传递均匀，利于成膜质量稳定。
4. 质轻结构稳、运行震动小，铝合金密度低、强度高，腔体轻量化同时刚性好，高速旋转时整机震动小，有利于提升薄膜均匀性。
5. 表面洁净易清洁、不易粘胶，阳极氧化表面致密光滑，胶液和杂质不易附着，清洗方便无残留，能有效减少交叉污染，适合实验室与小批量精密涂覆。
| 旋涂仪 | 供电电压 | AC220V 50Hz |
| 转速 | 0~8000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 转速分辨率 | 1rpm | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤4英寸（100mm） | |
| 腔体材质 | 铝合金阳极氧化处理 | |
| 操作方式 | 按键+液晶屏 | |
| 滴胶方式 | 手动滴胶，可选购精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段，共可储存5条曲线 | |
| 抽气接口 | φ6mm 快拧接口 | |
| 整机尺寸 | 210mm × 250mm × 180mm | |
| 整机重量 | 8kg | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 50L/min | |
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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关键词： 铝合金阳极氧化处理腔体匀胶机
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