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本产品是专为实验室表面改性与硬质薄膜制备需求研发的高性能设备,以 “多弧高效、膜层致密、真空洁净、易操作适配” 为核心定位,兼顾小型化设计与科研实用性,完美适配高校、科研院所及企业实验室的多样化镀膜场景,为金属、陶瓷、合金等基材提供稳定可靠的表面镀膜硬件支撑。
主要特点:
1. 多弧离子高效沉积:多弧靶材配置,离化率高、沉积速率快,可制备金属、氮化物、碳化物等硬质膜层,膜层致密、附着力强,耐磨耐腐蚀;
2. 高真空洁净镀膜:高真空腔体设计,有效隔绝外界杂质污染,减少气体干扰,保障膜层纯度,避免氧化缺陷,适配实验室高端镀膜工艺;
3. 便捷易控操作:触控屏操作 + 镀膜工艺预设,支持多组参数存储与调用,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差;
4. 实验室适配设计:小型化腔体结构,体积紧凑、占用空间小,维护便捷,适配各类实验室台面摆放,靶材更换简单,适配科研实验需求;
5. 应用场景广泛:可将功能性薄膜镀覆于刀具、模具、光学元件、电子元器件等基材,广泛应用于材料科学、机械工程、光电元件等领域的表面改性实验。
| 项目 | 明细 | |
| 真空腔体 | 水冷不锈钢腔体 | |
| φ500mm X 490mm(H) | ||
| 前开门式,配有φ100mm石英观察窗 | ||
| 内置两组红外加热灯,可对腔体烘烤除气 | ||
| 预留多个CF接口,可安装多路膜厚仪 | ||
| 进气系统 | 质量流量计Ar气0~200sccm, | |
| N2气0~200sccm其他流量或者气体可定制 | ||
| 供电要求 | AC 220V 50Hz 10kW | |
| 控制方式 | 15英寸触控屏 组态控制软件 | |
| 多弧靶 | 数量规格 | 3英寸x2 |
| 安装方式 | 腔体侧方对置 | |
| 工作电流 | 0~150A | |
| 靶材厚度 | max50mm,min20mm | |
| 样品台 | 规格 | 行星式挂架 |
| 可悬挂样品数 | 每支挂架上6个挂点,共计6个挂架 | |
| 转速 | 公转转速1~20rpm | |
| 真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A |
| 分子泵 | 涡轮分子泵 | |
| 前极泵 | 双极旋片泵 | |
| 抽气速率 | 分子泵:600L/S | |
| 旋片泵:1.1L/S | ||
| 极限真空 | 5×10E-4Pa | |
| 抽气接口 | KF40 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 真空测量 | 复合真空计 | |
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关键词: 实验室多弧离子镀镀膜仪
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