小型高真空双源热蒸发镀膜仪

所属分类: 薄膜制备

产品型号:HYXK-EVZ254-II-HH-SS

本产品可提供最大100A的镀膜电流,蒸发温度可达1800℃,能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀

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       本产品是专为实验室薄膜制备研发设计的紧凑型高性能设备,以 “小型便捷、双源协同、高真空洁净、精准可控” 为核心定位,兼顾实验室实用性与镀膜精度,体积紧凑、操作简便,完美适配高校、科研院所及企业实验室的薄膜制备场景,为金属、有机物、介质等多种材料的热蒸发镀膜提供稳定可靠的硬件支撑,满足基础研究与小批量样品制备的多样化需求。
主要特点:
1. 小型便捷适配:采用台式紧凑型结构,体积小巧、重量轻便,无需占用过多实验室空间,可直接放置于实验台面,移动灵活、安装简便,无需复杂调试,快速投入实验使用;
2. 双源独立协同:配置两个独立蒸发源,支持独立控温、单独或同时工作,可灵活制备单层、多层复合薄膜,无需频繁更换蒸发材料,大幅提升实验效率;
3. 高真空洁净镀膜:搭载高效高真空系统,真空度可达实验级高标准,有效隔绝空气杂质污染,保障薄膜纯度、致密性与附着力,避免薄膜出现针孔、缺陷;
4. 精准易控操作:简洁触控操作界面,可精准调控蒸发温度、镀膜时间、膜厚等核心参数,支持多组工艺参数存储调用,操作门槛低,减少人为误差,保障实验重复性;
5. 应用场景广泛:可用于金属膜、介质膜、有机薄膜等多种薄膜制备,适配材料科学、微电子、光学、新能源等领域的实验室基础研究与小批量样品制备。

项目 明细
样品台 尺寸 φ60mm
转速 1-20rpm可调
至蒸发源间距 60mm~100mm可调
蒸发系统 蒸发源 钨丝篮
热电偶 S型热电偶
可达温度 1800℃
真空腔体 腔体尺寸 φ254mm×300mm
观察窗口 石英观察窗 φ80
开启方式 上开启式
腔体材料 不锈钢
真空系统 产品型号 CY-GZK103-A
抽气接口 KF40
分子泵 大阪60l/s
排气接口 KF16
前极泵 旋片泵
真空测量 复合真空计
极限真空 1.0E-5Pa
抽气速率 分子泵:60L/S  旋片泵:1.1L/S  综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-4Pa
其他 供电电压 AC220V,50Hz
整机功率 2kw
整机尺寸 600mm× 300mm× 470mm
整机重量 40kg

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关键词: 小型高真空双源热蒸发镀膜仪

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