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本产品是专为实验室薄膜制备研发设计的紧凑型高性能设备,以 “小型便捷、双源协同、高真空洁净、精准可控” 为核心定位,兼顾实验室实用性与镀膜精度,体积紧凑、操作简便,完美适配高校、科研院所及企业实验室的薄膜制备场景,为金属、有机物、介质等多种材料的热蒸发镀膜提供稳定可靠的硬件支撑,满足基础研究与小批量样品制备的多样化需求。
主要特点:
1. 小型便捷适配:采用台式紧凑型结构,体积小巧、重量轻便,无需占用过多实验室空间,可直接放置于实验台面,移动灵活、安装简便,无需复杂调试,快速投入实验使用;
2. 双源独立协同:配置两个独立蒸发源,支持独立控温、单独或同时工作,可灵活制备单层、多层复合薄膜,无需频繁更换蒸发材料,大幅提升实验效率;
3. 高真空洁净镀膜:搭载高效高真空系统,真空度可达实验级高标准,有效隔绝空气杂质污染,保障薄膜纯度、致密性与附着力,避免薄膜出现针孔、缺陷;
4. 精准易控操作:简洁触控操作界面,可精准调控蒸发温度、镀膜时间、膜厚等核心参数,支持多组工艺参数存储调用,操作门槛低,减少人为误差,保障实验重复性;
5. 应用场景广泛:可用于金属膜、介质膜、有机薄膜等多种薄膜制备,适配材料科学、微电子、光学、新能源等领域的实验室基础研究与小批量样品制备。
| 项目 | 明细 | |
| 样品台 | 尺寸 | φ60mm |
| 转速 | 1-20rpm可调 | |
| 至蒸发源间距 | 60mm~100mm可调 | |
| 蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 |
| 热电偶 | S型热电偶 | |
| 可达温度 | 1800℃ | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ254mm×300mm |
| 观察窗口 | 石英观察窗 φ80 | |
| 开启方式 | 上开启式 | |
| 腔体材料 | 不锈钢 | |
| 真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A |
| 抽气接口 | KF40 | |
| 分子泵 | 大阪60l/s | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 前极泵 | 旋片泵 | |
| 真空测量 | 复合真空计 | |
| 极限真空 | 1.0E-5Pa | |
| 抽气速率 | 分子泵:60L/S 旋片泵:1.1L/S 综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-4Pa | |
| 其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 整机功率 | 2kw | |
| 整机尺寸 | 600mm× 300mm× 470mm | |
| 整机重量 | 40kg | |
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关键词: 小型高真空双源热蒸发镀膜仪
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