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本产品是专为实验室高性能薄膜制备需求研发的单靶等离子溅射镀膜仪(增强型),以 “等离子增强、膜层致密均匀、精准易控、高性价比” 为核心定位,兼顾科研级精度与操作便捷性,完美适配高校、科研院所及企业实验室的基础薄膜制备场景,为金属、氧化物、半导体等材料的高质量溅射镀膜提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点:
1. 等离子增强工艺:采用等离子增强溅射技术,提升靶材离化率与粒子能量,膜层附着力更强、致密度更高,有效降低缺陷率,适配高性能功能性薄膜制备;
2. 单靶精准溅射:配置单个高纯度靶材位,针对性强,可快速更换不同材质靶材,溅射过程稳定可控,膜层均匀性好,满足各类精准涂覆实验需求;
3. 高真空洁净镀膜:高真空腔体设计,有效隔绝外界杂质污染,减少气体干扰,保障膜层纯度,避免氧化缺陷,满足高精度镀膜工艺需求;
4. 便捷易控操作:触控屏操作 + 溅射工艺曲线预设,支持多组参数存储与调用,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差;
5. 应用场景广泛:可镀覆硅片、晶体、玻璃、陶瓷等多种基片,广泛应用于材料科学、光电器件、半导体研发、新能源等领域的基础薄膜制备实验。
| 项目 | 明细 | |
| 样 品 台 | 尺寸 | 100mm |
| 旋转速度 | 1~20rpm可调 | |
| 加热温度 | ≤500℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ PID控温 | |
| 等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸x1 |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180mm X 300mm |
| 观察窗口 | 全向可视 | |
| 腔体材料 | 高纯石英 | |
| 开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
| 上下盖材质 | 304不锈钢 | |
| 抽气接口 | KF25 | |
| 进气接口 | 1/4英寸卡套接头 | |
| 电源配置 | 数量 | 直流电源x1 |
| 输出功率 | *大150W | |
| 溅射电源 | 3000V | |
| *大溅射电流 | 50mA | |
| 真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
| 抽气接口 | KF25 | |
| 排气接口 | KF16 | |
| 抽气速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
| 极限真空度 | ≥1Pa | |
| 真空测量 | 电阻真空规 | |
| 其他 | 供电电源 | AC 220V 50Hz |
| 整机功率 | 2kW | |
| 整机尺寸 | 570mm X 450mm X550mm | |
| 整机重量 | 30kg | |
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关键词: 单靶等离子溅射镀膜仪(增强型)
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