多弧离子镀膜仪

所属分类: 多弧离子镀

产品型号:HYXK-MIOP400S-2TA

本产品离子镀将辉光放电现象、等离子体技术和真空蒸发三者有机结合起来,不仅能明显地改进了膜质量,而且还扩大了薄膜的应用范围。其具有蒸镀速率快,薄膜附着力强,绕射性好,膜材广泛等优点。十分适合镀硬质保护膜如TiN等。同时由于其通过控制气氛可以改变膜层颜色,且膜层与基板结合牢固,故也可用于制作多种颜色的装饰性膜。

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       本产品专为实验室及小批量精密镀膜需求研发的高性能设备,以“膜层致密、附着力强、靶材适配广”为核心定位,兼顾科研级精度与操作便捷性,完美适配高校、科研院所及企业研发部门,为金属、合金、陶瓷等各类基材的精密镀膜提供稳定可靠的硬件支撑,助力光学、电子、机械等领域的科研与小批量生产。

主要特点

1. 核心工艺优势:采用多弧离子镀核心技术,利用电弧放电激发靶材形成等离子体,实现膜层快速沉积,相较于传统镀膜设备,膜层致密度更高、与基材附着力更强,不易脱落、磨损,可精准控制膜层厚度,满足精密镀膜的严苛要求。

2. 多靶适配灵活:搭载多组独立弧源,支持单靶、多靶交替或共镀,适配金属、合金等多种靶材(如钛、铬、金、银等),可灵活制备单层、多层复合膜,大幅拓展实验与生产的工艺多样性,满足不同场景的镀膜需求。

3. 精准可控操作:配备高精度真空控制系统、电弧电源及温控模块,可精准调节真空度、电弧电流、镀膜时间等关键参数,温场均匀稳定,有效避免膜层出现色差、针孔、开裂等问题,保障镀膜质量一致性;触控屏操作界面简洁直观,预设多组标准工艺参数,新手可快速上手,减少人为操作误差。

4. 实验室适配性强:模块化紧凑结构设计,体积适中,占用空间合理,可灵活放置于实验室台面;运行噪音低、密封性能优良,维护便捷,无需复杂安装调试,适配科研实验、教学演示及小批量精密镀膜生产场景。

5. 安全可靠运行:集成电弧保护、超温预警、真空检测、漏电保护等多重安全装置,有效规避镀膜过程中的安全隐患;炉体采用耐高温、耐腐蚀材质,延长设备使用寿命,确保长期稳定运行。

样品台 尺寸 行星式样品台,外径305mm,四周六工位
工件可悬挂于各工位的支撑棒上
外周转速1~20rpm可调
多弧离子靶 数量 φ84mm X 2
真空腔体 腔体尺寸 φ300mm X 400mm 
观察窗口 前置φ100mm含遮光片
腔体材料 304不锈钢
开启方式 前开门式
膜厚控制 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪
真空系统 前级泵 双极旋片泵
抽气接口 KF16
次级泵 涡轮分子泵
抽气接口 CF160
真空测量 电阻+电离  复合真空规
排气速率 机械泵1.1L/s
分子泵 600L/s
极限真空 1.0E-5Pa
供电电源 AC 220V 50/60Hz
抽气速率 旋片泵:1.1L/S
控制系统 自动控制  操作界面:触控屏+操作面板
其他 供电电压 AC380V,50Hz
整机尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm
整机重量 350kg
整机功率 5kW

您可以通过任何方便的方式与我们联系,我们通过电话或电子邮件提供全天候服务。我们很乐意回答您的问题

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