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本产品专为实验室及小批量精密镀膜需求研发的高性能设备,以“膜层致密、附着力强、靶材适配广”为核心定位,兼顾科研级精度与操作便捷性,完美适配高校、科研院所及企业研发部门,为金属、合金、陶瓷等各类基材的精密镀膜提供稳定可靠的硬件支撑,助力光学、电子、机械等领域的科研与小批量生产。
主要特点
1. 核心工艺优势:采用多弧离子镀核心技术,利用电弧放电激发靶材形成等离子体,实现膜层快速沉积,相较于传统镀膜设备,膜层致密度更高、与基材附着力更强,不易脱落、磨损,可精准控制膜层厚度,满足精密镀膜的严苛要求。
2. 多靶适配灵活:搭载多组独立弧源,支持单靶、多靶交替或共镀,适配金属、合金等多种靶材(如钛、铬、金、银等),可灵活制备单层、多层复合膜,大幅拓展实验与生产的工艺多样性,满足不同场景的镀膜需求。
3. 精准可控操作:配备高精度真空控制系统、电弧电源及温控模块,可精准调节真空度、电弧电流、镀膜时间等关键参数,温场均匀稳定,有效避免膜层出现色差、针孔、开裂等问题,保障镀膜质量一致性;触控屏操作界面简洁直观,预设多组标准工艺参数,新手可快速上手,减少人为操作误差。
4. 实验室适配性强:模块化紧凑结构设计,体积适中,占用空间合理,可灵活放置于实验室台面;运行噪音低、密封性能优良,维护便捷,无需复杂安装调试,适配科研实验、教学演示及小批量精密镀膜生产场景。
5. 安全可靠运行:集成电弧保护、超温预警、真空检测、漏电保护等多重安全装置,有效规避镀膜过程中的安全隐患;炉体采用耐高温、耐腐蚀材质,延长设备使用寿命,确保长期稳定运行。
| 样品台 | 尺寸 | 行星式样品台,外径305mm,四周六工位 |
| 工件可悬挂于各工位的支撑棒上 | ||
| 外周转速1~20rpm可调 | ||
| 多弧离子靶 | 数量 | φ84mm X 2 |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ300mm X 400mm |
| 观察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
| 腔体材料 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 膜厚控制 | 晶振式膜厚测量仪,可选多通道膜厚控制仪 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
| 抽气接口 | KF16 | |
| 次级泵 | 涡轮分子泵 | |
| 抽气接口 | CF160 | |
| 真空测量 | 电阻+电离 复合真空规 | |
| 排气速率 | 机械泵1.1L/s | |
| 分子泵 600L/s | ||
| 极限真空 | 1.0E-5Pa | |
| 供电电源 | AC 220V 50/60Hz | |
| 抽气速率 | 旋片泵:1.1L/S | |
| 控制系统 | 自动控制 操作界面:触控屏+操作面板 | |
| 其他 | 供电电压 | AC380V,50Hz |
| 整机尺寸 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
| 整机重量 | 350kg | |
| 整机功率 | 5kW | |
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关键词: 多弧离子镀膜仪
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