双靶等离子溅射镀膜仪(基础型)

所属分类: 薄膜制备

产品型号:HYXK-PLZ180-II-DC-Q

本产品采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。本型号仪器还配有旋转样品台,能够有效的提升镀膜的均匀性。(本设备配有旋转加热样品台,可以提升镀膜的均匀性和薄膜的附着力)该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,便于学习使用。设备体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。

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       本产品以 “双靶协同、等离子增强、膜层致密均匀、精准易控” 为核心定位,兼顾科研级精度与操作便捷性,完美适配高校、科研院所及企业实验室的多样化薄膜制备场景,为金属、氧化物、半导体等材料的高质量溅射镀膜提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点:
1. 双靶独立溅射:配置两个独立靶位,支持多材质靶材同时或交替溅射,可制备单层、多层复合膜,无需频繁更换靶材,大幅提升实验效率;
2. 等离子增强工艺:采用等离子增强溅射技术,提高靶材离化率与粒子能量,膜层附着力更强、致密度更高,有效降低缺陷率,适配高性能功能性薄膜制备;
3. 高真空洁净镀膜:高真空腔体设计,有效隔绝外界杂质污染,减少气体干扰,保障膜层纯度,避免氧化缺陷,满足高精度镀膜工艺需求;
4. 便捷易控操作:触控屏操作 + 溅射工艺曲线预设,支持多组参数存储与调用,简化操作流程,降低学习门槛,减少人为操作误差;
5. 应用场景广泛:可镀覆硅片、晶体、玻璃、陶瓷等多种基片,广泛应用于材料科学、光电器件、半导体研发、新能源等领域的薄膜制备实验。

项目 明细
样 品 台 尺寸 100mm
到靶面距离 20~35mm高度可调
等离子溅射靶 数量 2英寸x2     
冷却方式 自然冷却    
真空腔体 腔体尺寸 φ180mm X 200mm    
观察窗口 全向可视
腔体材料 高纯石英
开启方式 顶盖拆卸式
上下盖材质 304不锈钢
抽气接口 KF25
进气接口 1/4英寸卡套接头
电源配置 数量 直流电源x1
输出功率 *大150W
溅射电源 3000V
*大溅射电流 50mA
真空系统 真空泵类型 双极旋片真空泵
抽气接口 KF25
排气接口 KF16
抽气速率 1.1L/s(4m3/h)
极限真空度 ≥1Pa
真空测量 电阻真空规
其    他 供电电源 AC 220V  50Hz
整机功率 1.5kW
整机尺寸 570mm X 450mm X500mm
整机重量 30kg

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关键词: 双靶等离子溅射镀膜仪(基础型)