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本产品是专为高精度、高纯度薄膜制备研发的高端设备，融合电子束蒸发技术与高真空系统，兼顾实验室研发与小批量生产需求，广泛应用于半导体、光学、新能源等领域，为金属、氧化物、陶瓷等多种材料的薄膜沉积提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点：
1. 高真空保障：搭载高效真空抽气系统，真空度高、密封性强，有效隔绝杂质干扰，确保膜层纯度，避免氧化污染。
2. 电子束精准控制：电子枪聚焦精准、能量集中，可实现对高熔点材料的稳定蒸发，膜层均匀致密、附着力强，减少缺陷。
3. 智能便捷操作：触控式操作界面，支持工艺参数预设、存储与调用，操作简单，降低人为误差，适配科研与生产场景。
4. 适配性强：兼容多种镀膜材料，可制备单层、多层复合膜，满足不同科研与生产需求，结构紧凑、维护便捷。
| 项目 | 明细 | |
| 样品台 | 外形尺寸 | <150mm，样品台可旋转 |
| 可调温度 | ≦500℃ | |
| 电子枪 | 新型电子枪，6孔坩埚 | |
| 加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ500*H500mm |
| 观察窗口 | 直径φ100mm | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 | |
| 开启方式 | 前开门式 | |
| 膜厚测量 | 采用SQM160膜厚仪进行监控，涂层厚度不均匀度小于6%。 | |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵，气体抽速1.1L/S |
| 次级泵 | 涡轮分子泵,气体抽速600L/S | |
| 真空测量 | 复合真空计(电离规+电阻规) | |
| 系统真空 | 5×10-5Pa | |
| 水冷系统 | 水压<2.5bar 水压监测 | |
| 加热灯 | 4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明 | |
| 电极接口 | 带2路金属蒸发电极接口 | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制器 | |
| 其他参数 | 供电电源 | AC380V,50Hz |
| 整机尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
| 整机功率 | 20KW | |
| 整机重量 | 350kg | |
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关键词： 高真空电子束蒸发镀膜仪
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