大型匀胶机旋涂仪

所属分类: 薄膜制备

产品型号:HYXK-SPC12-SS

本产品采用大功率伺服电机,配合高精度驱动器,可实现对大尺寸样品的匀胶实验

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       本产品专为大尺寸基片精准薄膜涂覆需求研发的高性能设备,以 “大承载、高精度、高稳定、安全适配” 为核心定位,兼顾工业级耐用性与实验室实用性,完美适配半导体、显示面板、科研院所及企业实验室的大尺寸样品匀胶实验场景,为各类大面积薄膜制备实验提供稳定可靠的硬件支撑。

       主要特点:

  1. 大载兼容:不锈钢匀胶腔体定制设计,支持最大直径 300mm、厚度 2.3mm 的基片处理,内置排胶口便于废液收集,腔室闭锁装置有效防止高速运转时样品飞出,保障操作安全。
  2. 精密高效:搭载大功率伺服电机与高精度驱动器,转速≤3000rpm,转速分辨率达 0.2rpm,最大加速度 5000,精准保障成膜均匀性,满足大尺寸基片高精度涂覆实验需求。
  3. 便捷易控:15 英寸全高清触控屏操作,支持 USB 程序升级,可预设匀胶曲线,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差。
  4. 工业适配:无油真空泵配套(抽速 120L/min,KF16 真空接口),适配工业级实验环境;AC220V 50Hz 2kW 供电配置,运行稳定,维护便捷,适配各类实验室及工业产线台面摆放。
  5. 应用广泛:可将液态或胶体材料涂覆于硅片、玻璃、晶圆等大尺寸基片,广泛应用于半导体光刻胶涂覆、显示面板功能膜制备、生物芯片涂层、高分子薄膜制备等领域。
项目 明细
匀胶腔体 不锈钢材质,*大支持直径300mm厚度2.3mm的晶圆内置排胶口
转速 ≤3000rpm
转速分辨率 0.2rpm
控制方式 15英寸全高清触控屏,可使用USB接口升级程序
供电 AC220V 50Hz 2kW
真空泵 无油真空泵,抽速120L/min
真空接口 KF16

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关键词: 大型匀胶机旋涂仪

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