产品简述
技术参数
产品视频
留言咨询
本产品专为大尺寸基片精准薄膜涂覆需求研发的高性能设备,以 “大承载、高精度、高稳定、安全适配” 为核心定位,兼顾工业级耐用性与实验室实用性,完美适配半导体、显示面板、科研院所及企业实验室的大尺寸样品匀胶实验场景,为各类大面积薄膜制备实验提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点:
- 大载兼容:不锈钢匀胶腔体定制设计,支持最大直径 300mm、厚度 2.3mm 的基片处理,内置排胶口便于废液收集,腔室闭锁装置有效防止高速运转时样品飞出,保障操作安全。
- 精密高效:搭载大功率伺服电机与高精度驱动器,转速≤3000rpm,转速分辨率达 0.2rpm,最大加速度 5000,精准保障成膜均匀性,满足大尺寸基片高精度涂覆实验需求。
- 便捷易控:15 英寸全高清触控屏操作,支持 USB 程序升级,可预设匀胶曲线,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差。
- 工业适配:无油真空泵配套(抽速 120L/min,KF16 真空接口),适配工业级实验环境;AC220V 50Hz 2kW 供电配置,运行稳定,维护便捷,适配各类实验室及工业产线台面摆放。
- 应用广泛:可将液态或胶体材料涂覆于硅片、玻璃、晶圆等大尺寸基片,广泛应用于半导体光刻胶涂覆、显示面板功能膜制备、生物芯片涂层、高分子薄膜制备等领域。
| 项目 | 明细 | |
| 匀胶腔体 | 不锈钢材质,*大支持直径300mm厚度2.3mm的晶圆内置排胶口 | |
| 转速 | ≤3000rpm | |
| 转速分辨率 | 0.2rpm | |
| 控制方式 | 15英寸全高清触控屏,可使用USB接口升级程序 | |
| 供电 | AC220V 50Hz 2kW | |
| 真空泵 | 无油真空泵,抽速120L/min | |
| 真空接口 | KF16 | |
您可以通过任何方便的方式与我们联系,我们通过电话或电子邮件提供全天候服务。我们很乐意回答您的问题
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
关键词: 大型匀胶机旋涂仪
上一个: 高真空电子束蒸发镀膜仪
下一个: 高真空多弧离子镀膜仪

