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本产品是一款利用离心力原理,将液态或胶体材料均匀涂覆在基片表面形成薄膜的精密设备,适配最大8英寸基片,腔体采用透明亚克力材质,兼顾实用性与可观测性。主要用于将材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上,广泛应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等科研及实验领域。
主要特点:
1. 适配性广,精准兼容8英寸及以下硅片、晶体等各类常见基片,可适配液态、胶体等多种涂覆材料,满足多领域科研实验工艺需求;
2. 涂覆精密,搭载高精度电机控制转速,薄膜厚度均匀且精准可控,有效规避边缘堆积、厚度不均等常见缺陷,保障涂覆质量;
3. 便捷实用,透明亚克力腔体可实时观测涂覆全过程,操控界面简洁易懂,降低操作难度,适配实验室日常科研使用场景。
| 旋涂仪 | 供电电压 | AC220V,50Hz |
| 转速 | 0~10000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 转速分辨率 | 1rpm | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤8英寸(200mm) | |
| 腔体材质 | 亚克力 | |
| 操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
| 滴胶方式 | 手动滴胶,可选购精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段,共可储存5条曲线 | |
| 抽气接口 | φ8mm 快拧接口 | |
| 整机尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
| 整机重量 | 12kg | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 1.1L/s | |
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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关键词: 亚克力八英寸匀胶机
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