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本产品加热防腐型旋转涂覆仪是带加热功能、腔体防腐的旋涂设备，用于在基片上涂覆光刻胶、浆料及腐蚀性药液，边旋涂边加热成膜。仪器采用先进的精密电机，转速能达到10000转/分，有效的保障了成膜的均匀性。除了基本的旋涂功能，本品还配有加热组件，可以加热到200℃，由智能温控表控温，温度测定准确，升温过程完全可控。另外本仪器采用触控屏控制，可以预设匀胶曲线，大大简化了使用过程降低了学习成本，十分适合实验室选购。
主要特点：
1. 加热 + 防腐双功能合一，可边旋涂边烘干，适配各类耐腐蚀涂层与热敏性浆料。
2. 耐酸碱、抗有机溶剂腐蚀，长期使用不溶胀、不腐蚀、不变形。
3. 快速烘干，成膜质量更高，减少针孔、流痕、橘皮缺陷，薄膜更致密均匀，附着力更强。
4. 温度精准可控，工艺重复性好，批次一致性高，适合研发与小批量稳定生产。
5. 封闭腔体安全环保，减少有害气体挥发与异味扩散，易清洁、不粘胶，降低污染与维护成本。
| 旋涂仪 | 供电电压 | AC220V，50Hz |
| 转速 | 0~10000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 转速分辨率 | 1rpm | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤8英寸（200mm） | |
| 腔体材质 | 聚四氟乙烯 | |
| 加热温度 | ≤200℃ | |
| 控温方式 | AIP智能控温 | |
| 操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
| 滴胶方式 | 手动滴胶，可选购精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段，共可储存5条曲线 | |
| 抽气接口 | φ6mm 快拧接口 | |
| 整机尺寸 | 290mm×365mm×300mm | |
| 整机重量 | 15kg | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 50L/min | |
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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关键词： 加热防腐型旋转涂覆仪
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