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本产品是一款小型化精密薄膜制备设备，整体采用铝合金结构，腔体选用PP工程材料，适配直径≤8英寸基片，可灵活应用于实验室及各类精密加工场景。其主要用途：可将液态或胶体材料均匀涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片表面形成薄膜，核心应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制备高分子薄膜等领域，满足多场景精密涂覆需求。
主要特点：
1. 成膜均匀性高，采用先进精密电机，转速可达10000转/分，转速分辨率1rpm，有效保障薄膜均匀性；
2. 操作便捷，配备7寸高清触控屏，可预设5条5段匀胶曲线并存储，降低学习成本；
3. 坚固耐用，PP腔体搭配铝合金机身，外观美观且结构稳固，适配实验室长期使用。
| 旋涂仪 | 供电电压 | AC220V，50Hz |
| 转速 | 0~10000rpm | |
| 加速度 | 100~5000rpm/s | |
| 转速分辨率 | 1rpm | |
| 单步时间 | 3000s | |
| 基片尺寸 | 直径≤8英寸（200mm） | |
| 腔体材质 | PP工程材料 | |
| 操作方式 | 7寸高清LCD触控屏 | |
| 滴胶方式 | 手动滴胶，可选购精密注射泵 | |
| 匀胶曲线 | 每条曲线5段，共可储存5条曲线 | |
| 抽气接口 | φ8mm 快拧接口 | |
| 整机尺寸 | 290mm×365mm×310mm | |
| 整机重量 | 12kg | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 |
| 抽气速率 | 1.1L/s | |
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
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关键词： PP腔体八英寸匀胶机
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