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本产品采用先进电容耦合技术，以等离子体（物质第四态，由气体经能量离化形成，区别于固液气三态）为核心处理介质，是常规清洗设备的优质升级替代款。其主要用途为借助等离子体中的离子、电子、活性基团等活性组分，对样品表面进行处理，可实现常规清洗无法达到的清洁、涂覆效果，适配多种材质样品的表面处理需求。
主要特点：
1. 技术领先：搭载电容耦合技术，等离子体激发稳定，可实现高精度表面处理，效果大幅优于常规清洗方式；
2. 清洁出众：依托等离子体活性组分，样品表面处理彻底无残留，高效解决常规清洗难以突破的技术难题；
3. 适配广泛：5L紧凑腔体设计，兼顾小规模生产与科研场景，可兼容多种材质，且全程不损伤样品本身特性。
| 主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
| 清洗仓体 | 清洗仓材质 | SS304 |
| 清洗仓尺寸 | 200x160x240mm | |
| 耦合方式 | 电容耦合 | |
| 射频电源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
| 电源优势 | ●可长时间正常运行 | |
| ● 操作简单灵活 | ||
| ● 电源效率高、发热少 | ||
| ● 具有完善的反射功率保护功能 | ||
| 射频功率 | 0~300W连续可调 | |
| 信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率稳定度 | ±0.1% | |
| 射频接头 | N型头 | |
| 整机效率 | ≥75% | |
| 谐波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 气体测量 | 测量部件 | 两路质量流量计 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 |
| 其他参数参考之前的产品 | ||
| 气体通道 | 两通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真空获取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
| 真空抽取 | 双极旋片泵 | |
| 电机转速 | 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 | |
| 抽气速率 | 50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
| 极限真空 | 0.5Pa | |
| 电机噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 进气口：KF16;排气口KF16. | |
| 连接管道 | KF16真空波纹管 | |
| 真空阀门 | KF16球阀 | |
| 电机功率 | 400W | |
| 其它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
| 整机功率 | 800W | |
| 使用温度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整机尺寸 | 600mmX650mmX560mm | |
| 整机重量 | 80kg（含包装） | |
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关键词： 5L等离子清洗机电容耦合
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