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本产品是一款采用高科技等离子体技术的表面处理设备，借助物质第四态等离子体的活性组分，实现常规清洗难以达到的表面处理效果。其主要用途是可清洁多种材料表面，去除油脂、氧化层等有机物；同时能改性材料表面，增强其粘附性、相容性与浸润性，广泛应用于金属、汽车制造、电子、半导体等多领域。
主要特点：
1. 高频稳定射频设计，采用13.56MHz标准射频电源，匹配各类常用气体等离子体，放电均匀稳定，保障表面处理效果一致。
2. 功率灵活选配，涵盖100W-1000W多规格，主力功率300W，精准适配不同材质、不同工艺的处理需求。
3. 场景适配性强，体积小巧、功能集成，兼顾实验室研发与小型批量生产，集清洗、表面改性于一体，高效实现材料表面活化、去污，提升后续加工合格率。
| 主要部件 | 指标名称 | 参数指标 |
| 清洗仓体 | 清洗仓材质 | 高纯石英 |
| 清洗仓尺寸 | 直径120mm;长度280mm | |
| 射频电源 | 电源特性 | 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
| 电源优势 | ● 可长时间正常运行 | |
| ● 操作简单灵活 | ||
| ● 电源效率高、发热少 | ||
| ● 具有完善的反射功率保护功能 | ||
| 射频功率 | 0~300W连续可调 | |
| 信号频率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率稳定度 | ±0.1% | |
| 射频接头 | N型头 | |
| 整机效率 | ≥75% | |
| 谐波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 气体测量 | 测量部件 | 浮子流量计 |
| 气体通道 | 两通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真空获取 | 真空测量 | 数字真空计（电阻规） |
| 真空抽取 | 双极旋片泵 | |
| 电机转速 | 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 | |
| 抽气速率 | 50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。 | |
| 真空量程 | 1Pa～100000Pa | |
| 极限真空 | 1Pa | |
| 电机噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 进气口：KF16;排气口KF16. | |
| 连接管道 | KF16真空波纹管 | |
| 真空阀门 | 电磁阀 | |
| 电机功率 | 400W | |
| 其它 | 供电电源 | AC220V 50/60Hz |
| 整机功率 | 800W | |
| 使用温度 | -10℃-40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整机尺寸 | 560mm×650mm×480mm | |
| 整机重量 | 65kg（含包装） |
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关键词： 2L等离子清洗机 300W
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