2L40K等离子清洗机

所属分类: 材料研究(科研设备)

产品型号:HYXK-PC40k-2L-SS

本产品等离子清洗机,是一种高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果

产品简述

技术参数

产品视频

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       本产品是专为实验室精密材料表面处理需求研发的高性能设备,以 “洁净高效、精密稳定、便捷易操作” 为核心定位,兼顾小型化设计与实用性,完美适配高校、科研院所及企业实验室的多样化实验场景,为各类材料表面清洗、活化、刻蚀提供稳定可靠的硬件支撑。

主要特点:

1. 洁净处理领先:采用定制化等离子激发技术,可高效去除材料表面有机污染物、氧化物,实现原子级清洁,杜绝杂质干扰,保障实验样品纯度与后续工艺附着力;

2. 精密高效运行:配备高精度真空控制系统与稳定射频电源,等离子体密度均匀、能量无波动,可精准保障处理效果一致性,适配各类微小器件与基片的精密处理需求;

3. 便捷易控操作:触控屏操作 + 预设工艺曲线,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差;

4. 实验室适配性强:小型化紧凑结构设计,体积紧凑、坚固美观,占用空间小,维护便捷,适配各类实验室台面摆放;

5. 应用广泛:可对硅片、晶体、金属、高分子、陶瓷等基片进行表面处理,广泛应用于半导体工艺、光学器件处理、生物芯片制备、高分子材料改性等领域。

清洗仓体

清洗仓材质

不锈钢

清洗仓尺寸

直径112mm;长度270mm

高频电源

电源特性

该电源为自主研发40K高频电源,结构可靠,性能强大。

电源优势

可长时间正常运行
操作简单灵活

电源效率高、发热少

射频功率

0~500W连续可调

信号频率

40kHz

功率稳定度

±0.1%

冷却方式

强制风冷

气体测量

测量部件

浮子流量计

气体通道

两通道

A通道量程

10~100ml

B通道量程

16~160ml

真空获取

真空测量

电阻式真空计

真空抽取

双极旋片泵

抽气速率

50Hz时为:1.1L/s;60Hz时为:1.3L/s。

真空量程

1Pa~10000Pa

极限真空

1Pa

电机噪音

≤56dB

管道接口

进气口:KF16;排气口KF16.

连接管道

KF16真空波纹管

电机功率

400W

其它

供电电源

AC220V 50/60Hz

整机功率

1000W

使用温度

-10℃ -- 40℃

工作真空

≤40Pa

整机尺寸

390*367*255

整机重量

40

 

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关键词: 2L40K等离子清洗机