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本产品是专为实验室精密材料表面处理需求研发的高性能设备,以 “洁净高效、精密稳定、便捷易操作” 为核心定位,兼顾小型化设计与实用性,完美适配高校、科研院所及企业实验室的多样化实验场景,为各类材料表面清洗、活化、刻蚀提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点:
1. 洁净处理领先:采用定制化等离子激发技术,可高效去除材料表面有机污染物、氧化物,实现原子级清洁,杜绝杂质干扰,保障实验样品纯度与后续工艺附着力;
2. 精密高效运行:配备高精度真空控制系统与稳定射频电源,等离子体密度均匀、能量无波动,可精准保障处理效果一致性,适配各类微小器件与基片的精密处理需求;
3. 便捷易控操作:触控屏操作 + 预设工艺曲线,简化操作流程,降低学习门槛,新手可快速上手,减少人为操作误差;
4. 实验室适配性强:小型化紧凑结构设计,体积紧凑、坚固美观,占用空间小,维护便捷,适配各类实验室台面摆放;
5. 应用广泛:可对硅片、晶体、金属、高分子、陶瓷等基片进行表面处理,广泛应用于半导体工艺、光学器件处理、生物芯片制备、高分子材料改性等领域。
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清洗仓体 |
清洗仓材质 |
不锈钢 |
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清洗仓尺寸 |
直径112mm;长度270mm |
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高频电源 |
电源特性 |
该电源为自主研发40K高频电源,结构可靠,性能强大。 |
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电源优势 |
可长时间正常运行 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~500W连续可调 |
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信号频率 |
40kHz |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气体测量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
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气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10~100ml |
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B通道量程 |
16~160ml |
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真空获取 |
真空测量 |
电阻式真空计 |
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真空抽取 |
双极旋片泵 |
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抽气速率 |
50Hz时为:1.1L/s;60Hz时为:1.3L/s。 |
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真空量程 |
1Pa~10000Pa |
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极限真空 |
1Pa |
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电机噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
进气口:KF16;排气口KF16. |
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连接管道 |
KF16真空波纹管 |
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电机功率 |
400W |
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其它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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整机功率 |
1000W |
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使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
390*367*255 |
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整机重量 |
40 |
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关键词: 2L40K等离子清洗机
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