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本产品紧凑型紫外线臭氧清洗机采用大功率低压石英汞灯，产生波长185nm和254nm的紫外，185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的臭氧分子O3，254nm的光同时激发清洗表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解，不需要任何溶剂的干式清洗技术，对清洗表面没有损伤。由于臭氧分子存在时间短，且同时也被254nm的光分解，因此可调节样品台到灯管的距离来优化性能。
紧凑型紫外线臭氧清洗机特性优点：
1. 清洗有机污染物、油脂、残留光刻胶，清洁 AFM 针尖、样品基材；
2. 占地小、常压操作、无需真空，干燥无损伤；
3. 配加热台加速清洗，带联锁、臭氧催化净化等安全设计；
4. 适配硅、玻璃、陶瓷、III-V 族半导体等多基材。
| 输入功率 | AC 110V or AC 208~240V( 可选的) |
| 紫外灯 | 固体金属双波汞灯 |
| 紫外灯功率：可达55W | |
| 波长：254nm和185nm | |
| 紫外灯使用寿命：2500小时 | |
| 紫外线照射面积：100×100 mm（4"×4"） | |
| 峰值紫外线强度：4.6毫瓦/平方厘米。 | |
| 腔室和样品台 | 外形尺寸：9 1/2"×7 7/8"×6" |
| 抽屉尺寸：5 1/4"×5 1/4"×1" | |
| 抽屉到灯的距离：1 1/16" | |
| 从基座到灯的距离：5/16" | |
| 硼硅酸盐玻璃基座：4"×4"×3/4" | |
| 18号钢制底盘和盖板，粉末涂层 | |
| 总重量：9磅 | |
| 合规 | CE认证 |
| 保证 | 一年有限保修，终身支持(耐热玻璃室不保修) |
| 环境要求 | 只在室内使用;海拔高度可达5,562英尺; |
| 温度范围41-104华氏度; | |
| zui高相对湿度80％，高达87 华氏度线性降低至50％相对湿度，华氏104度; | |
| 主电源波动不超过额定电压的10％;过压类别II; | |
| 污染等级2；臭氧水平（环境）测量<45 ppb。 | |
| 应用 | 清洁SPT、AFM表面的分子污染 |
| 固化UV-粘合剂 | |
| SAM表面的紫外光图案化 | |
| 氧化PDMS | |
| 蚀刻，图案，锐化 | |
| 清洁MEMS器件 | |
| 清洁衬底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶体衬底 |
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关键词： 紧凑型紫外线臭氧清洗机
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