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本产品是专为实验室及工业场景的材料表面改性需求研发的高性能设备，以 “洁净高效、功能多样、适配广泛” 为核心定位，兼顾精密处理与便捷操作，完美适配高校、科研院所及企业实验室的多样化实验与生产场景，为各类材料的表面处理、清洗改性提供稳定可靠的硬件支撑。
主要特点：
- 洁净处理领先：采用高精度等离子激发技术，可高效去除材料表面的有机污染物、油污、灰尘及氧化物，实现原子级清洁，保障材料表面纯度，提升后续工艺附着力；
- 功能多样适配：支持等离子清洗、刻蚀、表面活化、亲水处理等多种模式，可针对硅片、晶体、金属、高分子、陶瓷等多类基片进行定制化处理，适配多样化实验需求；
- 精密高效运行：配备高精度真空控制系统与射频电源，等离子体密度均匀、能量稳定，处理效果一致性强，可精准控制处理时间与工艺参数，减少人为操作误差；
- 便捷易控适配：触控屏操作 + 预设工艺参数，简化操作流程，新手可快速上手；紧凑化机身设计，体积小巧、坚固美观，占用空间小，维护便捷，适配各类实验室台面摆放。
| 供电电压 | AC220V，50Hz | |
| 整机功率 | 6KW | |
| 系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
| 样品台 | 外形尺寸 | φ150mm |
| 加热温度 | ≦600℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 可调转速 | ≦20rpm | |
| 磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm，厚度≦3mm |
| 冷却模式 | 循环水冷 | |
| 水流大小 | 不小于10L/Min | |
| 数量 | 2 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ325mm，高度500mm |
| 腔体材质 | SUU304不锈钢 | |
| 观察窗口 | 直径φ100mm | |
| 开启方式 | 顶开式 | |
| 气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM | |
| 真空系统 | 配分子泵系统1套，气体抽速600L/S | |
| 膜厚测量 | 可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å | |
| 溅射电源 | 配直流电源,功率500W，射频500W | |
| 控制系统 | 自研专业级控制系统 | |
| 设备尺寸 | 540mm×540mm×1000mm | |
| 设备重量 | 350kg | |
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关键词： 等离子清洗机
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