光纤绕丝单靶磁控溅射镀膜仪

所属分类: 磁控溅射仪

产品型号:HYXK-MSZ180-I-DC-SS​

本产品是基于PVD技术的专业薄膜制备设备,融合单靶磁控溅射与光纤绕丝技术,核心优势突出:膜层均匀致密、纯度高、附着力强;可精准调控薄膜厚度与组成,溅射效率高;适配多种靶材与基底,兼顾科研与工业场景。设备运行稳定、操作便捷,关键参数达标,能高效制备各类高质量薄膜,广泛应用于微电子、光学、新能源等领域,可生产光学薄膜、半导体导电膜、太阳能电池及LED器件,同时可制备防水防磨损等防护涂层,适配多领域高精度薄膜制备需求。

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       本产品是一款基于物理气相沉积(PVD)技术的专业薄膜制备设备,采用单靶磁控溅射结合光纤绕丝技术,通过高压与磁场作用溅射高纯度靶材粒子,沉积于基底形成薄膜,适配科研与工业多场景使用。其主要用途是可制备各类高质量薄膜,广泛应用于微电子、光学、新能源等领域,可制作高反射/抗反射光学薄膜、半导体导电膜、太阳能电池及LED器件,还可制备防水防磨损等防护涂层。

主要特点:
1. 采用2英寸单靶磁控溅射头,配备水冷系统;真空腔体为304不锈钢材质(Φ213mm×307mm),搭配复合真空计保障纯净沉积环境;绕丝速度1-300r/min可调,整机功率2kw、供电AC220V 50Hz,电源自动匹配,操作便捷、运行稳定,保障镀膜精度与效率。
2. 膜层品质优异:制备的薄膜均匀致密、纯度高,附着力强,能满足高精度场景需求,适配多种基底材质。
3. 控制精准高效:融合光纤绕丝技术,可灵活调整靶基距离与溅射能量,精准控制薄膜厚度与组成,提升溅射速率和膜层质量。
4. 适用范围广泛:适配金属、合金等多种靶材,可满足光学、电子、防护等多领域薄膜制备需求,兼顾科研与工业应用场景。
 

供电电压 AC220V,50Hz
整机功率 2kw
绕丝机构 尺寸 Φ15mmx245mm
绕丝速度 1-300r/min
磁控溅射头 数量 2 英寸x1
冷却方式 水冷
真空腔体 腔体尺寸 Φ213mm X 307mm
观察窗口 φ80mm
开启方式 上顶开式、左侧开式
腔体材料 不锈钢 304
电源配置 直流电源数量 1 台
输出功率 ≤300W
匹配方式 自动匹配
水冷系统 水箱容积 9L
流量 10L/min
供气系统 类型 手动微量调节阀
真空系统 前级泵 双极旋片泵
抽速 1.1L/s
次级泵 涡轮分子泵
抽速 60L/s
抽气口 ISO63
出气口 KF16
真空计 复合真空计

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