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本产品是一款基于物理气相沉积(PVD)技术的专业薄膜制备设备,采用单靶磁控溅射结合光纤绕丝技术,通过高压与磁场作用溅射高纯度靶材粒子,沉积于基底形成薄膜,适配科研与工业多场景使用。其主要用途是可制备各类高质量薄膜,广泛应用于微电子、光学、新能源等领域,可制作高反射/抗反射光学薄膜、半导体导电膜、太阳能电池及LED器件,还可制备防水防磨损等防护涂层。
主要特点:
1. 采用2英寸单靶磁控溅射头,配备水冷系统;真空腔体为304不锈钢材质(Φ213mm×307mm),搭配复合真空计保障纯净沉积环境;绕丝速度1-300r/min可调,整机功率2kw、供电AC220V 50Hz,电源自动匹配,操作便捷、运行稳定,保障镀膜精度与效率。
2. 膜层品质优异:制备的薄膜均匀致密、纯度高,附着力强,能满足高精度场景需求,适配多种基底材质。
3. 控制精准高效:融合光纤绕丝技术,可灵活调整靶基距离与溅射能量,精准控制薄膜厚度与组成,提升溅射速率和膜层质量。
4. 适用范围广泛:适配金属、合金等多种靶材,可满足光学、电子、防护等多领域薄膜制备需求,兼顾科研与工业应用场景。
| 供电电压 | AC220V,50Hz | |
| 整机功率 | 2kw | |
| 绕丝机构 | 尺寸 | Φ15mmx245mm |
| 绕丝速度 | 1-300r/min | |
| 磁控溅射头 | 数量 | 2 英寸x1 |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | Φ213mm X 307mm |
| 观察窗口 | φ80mm | |
| 开启方式 | 上顶开式、左侧开式 | |
| 腔体材料 | 不锈钢 304 | |
| 电源配置 | 直流电源数量 | 1 台 |
| 输出功率 | ≤300W | |
| 匹配方式 | 自动匹配 | |
| 水冷系统 | 水箱容积 | 9L |
| 流量 | 10L/min | |
| 供气系统 | 类型 | 手动微量调节阀 |
| 真空系统 | 前级泵 | 双极旋片泵 |
| 抽速 | 1.1L/s | |
| 次级泵 | 涡轮分子泵 | |
| 抽速 | 60L/s | |
| 抽气口 | ISO63 | |
| 出气口 | KF16 | |
| 真空计 | 复合真空计 | |
| 设备重量 | 350kg | |
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关键词: 单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪
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